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北大新材料学院论文荣获2014年《物理学报》优秀论文奖

作者: 陕西教育网 来源: 陕西教育网 发布时间: 2020年05月22日 17:32:49

      近日,我院潘锋教授、吴忠振特聘研究员领导的等离子装备研究小组发表的论文《高压耦合高功率脉冲磁控溅射的增强放电效应》被评选为《物理学报》2014年第63卷第18期的优秀论文。
      文章主要研究了一种简单结构的金属等离子体源备选—高功率脉冲磁控溅射源(HPPMS) 的放电特性,采用等离子体发射光谱仪探索了不同的耦合高压对HPPMS放电靶电流特性和等离子体特性的作用。发现耦合高压对HPPMS放电有明显的促进作用,相同靶电压下的放电强度大幅增加,相对于金属放电,耦合高压对气体放电的促进作用更加明显,但在自溅射为主的高压放电阶段对金属放电的促进作用明显增强。讨论了耦合高压对HPPMS 放电增强机制,发现耦合高压自辉光放电、耦合高压和HPPMS 电压构成双向负压形成的空心阴极效应,以及耦合高压鞘层改善的双极扩散效应都对HPPMS 放电的增强有明显作用。

北大新材料学院论文荣获2014年《物理学报》优秀论文奖

     《物理学报》优秀论文是为了更好地宣传物理学领域有价值的研究成果,促进学术交流,根据论文的学术创新性和写作质量等因素,由主编和编辑部从每期发表的论文中评选出3篇论文作为当期优秀论文,在《物理学报》网站首页“本期推荐文章”栏目中重点推荐。
      北京大学深圳研究生院新材料学院装备研究小组介绍:北大深圳研究生院新材料学院新型镀膜装备及应用实验室:该实验室由院长潘锋教授领衔,吴忠振特聘研究员为常务负责人,主要从事以等离子体为基础的材料表面改性与功能薄膜沉积技术、装备、模拟与工艺应用等方面的研究工作,尤其是以高功率脉冲磁控溅射、离子注入与沉积技术为主的物理气相沉积装备与工艺开发。目前课题涉及新型金属离子源设计开发、材料表面改性与硬质涂层开发、薄膜太阳能电池制备与全固态薄膜锂离子电池研究等方面。